方案概述
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)情形中，， ，用石墨加热器将多晶硅等多晶质料熔化，， ，用直拉法生长无错位单晶的装备
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视觉定位
视觉定位，， ，举行检测误差，， ，赔偿给控制系统
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高重合精度
高精度，， ，高响应定位，， ，控制伺服驱动
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高像素相机
视觉实时丈量晶棒生长尺寸
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高速处理数据
高速PLC 承载着整个系统的运算及执行
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